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复旦大学中山医院易勇医生黄牛预约代挂号电话如何给高算力芯片贴上“散热贴”?北大团队有新突破

10-27 实时新闻

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算力狂飙的时代,芯片跑得越快,发热难题也迎面而来。随着AI高算力芯片、第三代射频和功率半导体器件快速迭代,器件功率密度持续攀升,热管理已成为制约高端半导体性能提升的重要瓶颈。

近日,北京大学王新强、王琦团队,在晶圆级高热导金刚石薄膜产业化制备上取得重要突破,成功制备出12英寸高热导金刚石薄膜,有望给高算力芯片贴上“散热贴”。

金刚石拥有超高热导率、优异绝缘性能与化学稳定性,是下一代半导体的理想散热材料。然而,传统金刚石材料尺寸难以做大、加工难度高、成本高昂,长期制约着高热导金刚石材料走向大尺寸、晶圆级的规模化应用。

瞄准先进芯片散热等重大产业需求,北大团队集成大尺寸微波等离子体化学气相沉积、高精度激光环切、自动化量产剥离等关键技术,攻克了大尺寸金刚石薄膜生长、应力调控与量产剥离等核心难题,解决了沉积过程中温度场与等离子体均匀性协同控制等关键挑战,成功制备出12英寸高热导多晶金刚石薄膜。


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12英寸金刚石薄膜的 (a) 制备工艺流程、(b) 实物照片、(c) 拉曼光谱测试及 (d) 晶粒尺寸与热导率随薄膜厚度的变化

这份薄膜“导热”性能如何?热导率可达1700瓦特每米开尔文,大约是铜的4倍。形象点说,它就像一张超薄的高性能散热贴,贴在高功率芯片上,快速把堆积的热量导出去。

该成果实现了金刚石薄膜向超大尺寸晶圆级的跨越,是先进导热材料领域的标志性突破,为高端电子热管理提供了全新技术方案,有望支撑我国高端电子产业自主发展。下一步,团队将持续优化工艺,推进标准化与产业验证工作,加快成果推广落地。

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